淺析在線氣相色譜儀結(jié)構(gòu)有哪些及特點(diǎn)是什么
在線氣相色譜儀的結(jié)構(gòu)主要包括電子壓力控制模塊、色譜模塊、數(shù)據(jù)處理模塊、接口模塊和顯示模塊，此外還包括防爆模塊等輔助單元。
采用電子壓力控制模塊調(diào)節(jié)載氣和樣氣的壓力，穩(wěn)壓后的載氣攜帶樣氣進(jìn)入色譜模塊。色譜模塊由進(jìn)樣器、色譜柱和檢測器組成，進(jìn)樣器獲取一定量的樣氣后，送入色譜柱分離，蕞終由檢測器輸出檢測信號(hào)。數(shù)據(jù)處理模塊用于分析儀的工作流程控制，獲取色譜模塊的檢測器信號(hào)，經(jīng)處理得到氣體分析結(jié)果。接口電路實(shí)現(xiàn)分析儀和外部設(shè)備之間的數(shù)據(jù)和狀態(tài)信息的通訊，并進(jìn)行反饋控制。
其中，在線氣相色譜模塊作為最核心部件，采用的是微型色譜技術(shù)，基于微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)在硅片上制造高質(zhì)量、高精度微細(xì)進(jìn)樣系統(tǒng)和高靈敏度的微細(xì)熱導(dǎo)檢測器。由于所有微細(xì)器件在硅片上完成，故這些器件的化學(xué)性能很穩(wěn)定，惰性好，工藝上重復(fù)性好，制造精度高。
進(jìn)樣系統(tǒng)通過雙面刻蝕的硅片和鍵合技術(shù)形成微通道和微閥，將這些微通道和微閥組合起來形成不同類型的進(jìn)樣器。同時(shí)，用陽極鍵合工藝將一片玻璃片和硅片鍵合在一起，形成微型熱導(dǎo)檢測器部件。采用MEMS技術(shù)的在線氣相色譜儀具有分析速度快、系統(tǒng)體積小、耗氣量少、檢測器靈敏度高等特點(diǎn)，非常適用于石化工業(yè)，如天然氣、煉廠氣、石油和天然氣勘探中的氣體分析。
